月产能10万片！山东首条12英寸集成电路用大硅片生产线通线量产

山东省首条12英寸集成电路用大硅片生产线正式通线并实现量产，标志着山东在集成电路关键材料领域取得重大突破，为国内半导体产业链自主可控注入新动能。

据了解，该生产线由山东有研半导体材料有限公司（以下简称“山东有研”）投资建设，位于德州经济技术开发区，项目总投资数十亿元，规划月产能10万片12英寸硅片。经过前期紧张建设和设备调试，生产线已具备量产条件，产品覆盖逻辑芯片、存储芯片、图像传感器等多种集成电路制造需求。

12英寸硅片是集成电路制造的核心基础材料，其直径大、面积利用率高，适合大规模集成电路生产，是先进制程芯片的主流衬底。长期以来，12英寸硅片技术门槛高、生产工艺复杂，国内市场高度依赖进口。山东有研通过自主创新，攻克了单晶生长、切片、研磨、抛光、清洗等关键技术，产品平整度、洁净度等指标达到国际先进水平。

该生产线的通线量产，不仅填补了山东在12英寸硅片领域的空白，也有助于缓解国内集成电路制造企业对高端硅片的需求压力，提升产业链供应链韧性。与此项目将带动上下游配套企业集聚，形成从硅材料到芯片制造的协同发展生态。

业内人士表示，随着5G、人工智能、新能源汽车等产业快速发展，12英寸硅片市场需求持续增长。山东首条12英寸硅片生产线的投产，将进一步提升国产硅片市场份额，降低集成电路制造企业采购成本，对推动我国半导体产业高质量发展具有重要意义。